📋 平顶光束整形器的制造工艺流程是什么? 详细介绍
制造起始于基材选择,通常选用低热膨胀系数材料如熔融石英。通过CNC精密磨削形成初始光学表面。
接下来是相位图案刻蚀。采用光刻或激光直写技术,在表面创建微米级相位台阶,实现光束重分布。
涂层沉积阶段使用真空蒸镀或溅射法,施加抗反射膜层。厚度控制在纳米级,以最小化反射损失。
组装过程包括光学对准和封装。使用干涉仪验证相位准确性,确保输出均匀度符合规格。
最终质量检测涵盖波前误差和传输效率测试。合格产品经环境模拟验证耐久性。
整个流程强调洁净室操作,避免污染影响光学性能。先进工艺可将制造周期缩短至一周。