奥普光电助力上海微电子光刻机国产化 超精密光学平台关键技术解析

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奥普光电专注光机电一体化产品，承接国家02专项课题，主营纳米级光刻机工作台，国内市占率超60%。其光学器件与封装服务直接配套上海微电子光刻机整机生产。

在光刻机产业链中，奥普光电的超精密平台确保高精度对准与运动控制，推动350nm步进光刻机等国产设备量产应用，提升半导体制造自主能力。

企业持续投入研发，与上海微电子生态协同，助力光刻机核心部件国产化，适用于高端芯片生产线，保障产业链安全稳定。