微纳米加工以光刻、电子束刻蚀、聚焦离子束和纳米压印为主，能实现亚10nm特征尺寸，是芯片与MEMS器件制造基础。
飞秒激光微纳加工具有无热影响区优势，广泛用于硬脆材料微结构加工，如微流控芯片和光学透镜阵列制作。
当前技术趋势聚焦于多工艺复合与智能化控制，通过原子层沉积辅助与原位监测显著提升加工精度与表面质量。
知识速读先进制造技术微纳米加工精密制造
微纳米加工技术在精密制造中的核心应用与进展
核心要点
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