迈克尔孙干涉仪在精密光学测量中的原理与工业应用

迈克尔孙干涉仪利用光波干涉原理测量微小位移，分辨率达纳米级。核心组件包括分束镜和反射镜。

在工业中，用于表面平整度检测和激光校准，提高产品精度。结合CCD传感器实现自动化测量。