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📋 光学微腔在精密传感与激光制造中的高Q值应用技术 详细介绍

光学微腔结构如微盘或微环,能限制光场形成高品质因子谐振,提升检测极限。

在半导体芯片制造中,它集成于传感器,实现温度或压力的高精度测量。

采用微纳加工工艺生产,可大规模集成于光子芯片,降低制造成本。

🧭 核心要点

  • 光学微腔结构如微盘或微环,能限制光场形成高品质因子谐振,提升检测极限
  • 在半导体芯片制造中,它集成于传感器,实现温度或压力的高精度测量
  • 采用微纳加工工艺生产,可大规模集成于光子芯片,降低制造成本

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