主流真空泵生产商已大规模推出螺杆干式真空泵、涡旋干泵与磁悬浮分子泵,较充分解决传统油式泵的油污染与维护难题。

采用变频驱动、智能监控与远程诊断技术,真空泵运行效率提升20%以上,故障预警能力显著增强。

重点服务锂电、光伏硅片、半导体芯片制造等领域,满足10^-6 Pa以上超高真空与洁净生产要求。