激光干涉仪使用前需将设备置于恒温恒湿环境，调整光学平台水平度至0.02mm/m以内。

安装反射镜与测量镜组后，开启激光源，进行零点校准并确认干涉条纹清晰稳定。

测量过程中保持光路无遮挡，实时监测环境振动与温度变化，记录数据时取多次平均值以减小误差。