TEM测试在半导体与材料分析中的应用

📋 TEM测试在半导体与材料分析中的应用 详细介绍

TEM利用高能电子束透射超薄样品（<100nm），实现亚埃级分辨率。可获取明暗场像、晶体结构及元素分布信息。

样品制备需FIB切割，确保厚度均匀。结合EDS能谱，实现微区成分分析，适用于先进制程验证。

在半导体工业中用于芯片缺陷分析、薄膜界面观察及失效分析；在材料科学中表征纳米颗粒、晶界及相结构，推动高性能材料研发。