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🧭 核心要点要当前主流精密运动平台重复定位精度可达±0.1μm~±0.5μm，平面度优于1μm/100mm，支持多轴联动与实时反馈控制要核心技术路线包括气浮平台+铁芯/无铁芯直线电机、音圈电机驱动及高分辨率光栅尺闭环系统要选型重点关注有效行程、承载能力、加速度指标及洁净度等级，半导体与3C检测领域通常要求Class 10以下环境适应性
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