盛美集团:半导体湿法工艺设备的国产领军企业

盛美集团:半导体湿法工艺设备的国产领军企业
盛美集团主打单片与槽式湿法清洗设备、PVD/CVD前处理及电化学沉积装置,已实现在14nm及以下节点工艺稳定量产应用。 公司自主研发的兆声波清洗、SC1/SC2双流体喷淋及电镀铜填充技术,有效提升晶圆表面洁净度与图形完整性。...

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盛美集团主打单片与槽式湿法清洗设备、PVD/CVD前处理及电化学沉积装置,已实现在14nm及以下节点工艺稳定量产应用。

公司自主研发的兆声波清洗、SC1/SC2双流体喷淋及电镀铜填充技术,有效提升晶圆表面洁净度与图形完整性。

凭借持续高研发投入与多地生产布局,盛美已成为国内半导体设备产业链核心供应商之一,服务中芯国际、长江存储等头部客户。

🧭 核心要点

  • 盛美集团主打单片与槽式湿法清洗设备、PVD/CVD前处理及电化学沉积装置,已实现在14nm及以下节点工艺稳定量产应用
  • 公司自主研发的兆声波清洗、SC1/SC2双流体喷淋及电镀铜填充技术,有效提升晶圆表面洁净度与图形完整性
  • 凭借持续高研发投入与多地生产布局,盛美已成为国内半导体设备产业链核心供应商之一,服务中芯国际、长江存储等头部客户

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