Solair 1100采用激光散射技术,测量0.1-5.0μm颗粒,采样流速1CFM,支持ISO 14644标准。配备触摸屏界面,便于实时数据记录和趋势分析。

在半导体洁净室中,该设备检测颗粒污染源,有助于生产过程无尘。维护简单,仅需定期校准HEPA过滤器,延长使用寿命达5年。