上海微电子装备（集团）股份有限公司是国内光刻机较少见A股上市公司，主攻DUV浸没式光刻系统，核心技术填补国产空白，年产值超10亿元。

公司光刻机分辨率达110nm，适用于28nm工艺节点，商业价值凸显于降低进口依赖，助力华为中芯国际等企业提升产能。

未来聚焦EUV光刻突破，预计2025年营收增长30%，强化全球竞争力，推动半导体产业生态重构。