罗茨泵真空泵机组由罗茨泵和前级泵组成,利用罗茨泵转子间隙抽气,实现10^-2至10^-1 Pa真空度,适用于粗真空工艺。

其优势在于高抽速达数千m³/h、低能耗设计,减少维护成本,在半导体、真空镀膜等领域广泛应用,提升企业竞争力。

选用罗茨泵真空泵机组可优化工业流程,降低运营支出,助力可持续生产,实现显著商业价值。