真空腔体加工的表面处理技术有哪些？

📋 真空腔体加工的表面处理技术有哪些？ 详细介绍

表面处理是真空腔体加工的关键步骤，直接影响电子电工中的真空保持能力。电抛光通过电化学方法去除微观缺陷，显著降低表面粗糙度。

阳极氧化适用于铝基腔体，形成致密氧化层，提高耐腐蚀性和真空兼容性。处理后需烘烤以去除吸附水分。

化学钝化常用于不锈钢腔体，利用酸性溶液形成保护膜，抑制金属离子析出污染真空环境。

激光刻蚀技术新兴，用于精密图案化表面，适用于集成电路真空封装的腔体加工。