光学频率梳的制造工艺有哪些主要步骤？

制造起始于泵浦激光源的选型和优化，通常采用模式锁激光器，以产生超短脉冲。工艺需精确控制激光功率和波长稳定性。

接下来是微谐振腔的加工，使用光刻和蚀刻技术形成高Q值腔体。这一步决定了梳的重复频率和带宽。

组装阶段包括光学对准和反馈回路集成，确保梳齿均匀分布。制造商需在洁净环境中操作，以避免污染影响相干性。

系统测试使用光谱仪和频率计数器验证性能参数，如梳齿间距和功率水平。

最终封装考虑热管理和电磁兼容性，适用于电子电工环境。

这些步骤的严谨执行是光学频率梳制造成功的关键。