真空磁控溅射镀膜机工作原理与工业应用

📋 真空磁控溅射镀膜机工作原理与工业应用 详细介绍

真空磁控镀膜机在惰性气体中辉光放电，Ar+离子轰击靶材，溅射原子沉积于基材，形成均匀致密薄膜。

磁场使电子螺旋运动，提高电离率与溅射速率，实现低温高附着力镀膜，适合多种材料。

工业应用涵盖光学镀膜、防腐耐磨涂层与半导体薄膜制备，提升产品耐用性与功能性。