罗茨风机真空系统增压原理与半导体工艺应用

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罗茨风机属于容积式无油干式机械增压泵，置于前级泵与工艺腔之间，可将系统抽速提升5-10倍，显著缩短抽真空时间。

在半导体晶圆制造及真空镀膜领域，罗茨风机+螺杆泵/旋片泵组合是主流配置，可实现10-2~10-1Pa稳定工作压力。

设备运行无油污染、维护周期长，但需配置旁通阀及旁路以实现平滑启动，避免因压差过大导致电机过载或叶轮损伤。