精密移动平台的设计特点与在光学和半导体制造中的应用优势

📋 精密移动平台的设计特点与在光学和半导体制造中的应用优势 详细介绍

平台采用线性导轨和伺服电机驱动，实现X-Y-Z轴多自由度运动，误差小于1μm。

集成反馈传感器如光栅尺，确保实时位置校准，适用于激光加工和显微成像。

在半导体行业中，提升芯片组装效率，减少缺陷，提高整体生产产量。