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🧭 核心要点要实验室气体气路安装需选用316L不锈钢或PFA材质管路,采用氦质谱检漏确保气密性达到10⁻⁹ Pa·m³/s以下要合理设计减压阀、过滤器、稳压阀及紧急切断阀布局,严格执行双级减压与尾气回收处理,防止回流污染要安装完成后需进行48小时稳压测试并出具检测报告,方可投入使用,以保障实验数据可靠性和人员安全
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