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📋 CAS 852246-55-0:光酸产生剂在先进光刻工艺中的应用 详细介绍

CAS 852246-55-0为特定噻吩衍生物光酸产生剂(PAG),广泛用于ArF及EUV光刻胶配方。

其高效酸产生性能与良好热稳定性,确保高分辨率图案的精确转移。

该化合物在OLED显示与集成电路制造领域发挥重要作用,推动微纳加工技术进步。

🧭 核心要点

  • CAS 852246-55-0为特定噻吩衍生物光酸产生剂(PAG),广泛用于ArF及EUV光刻胶配方
  • 其高效酸产生性能与良好热稳定性,确保高分辨率图案的精确转移
  • 该化合物在OLED显示与集成电路制造领域发挥重要作用,推动微纳加工技术进步

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