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📋 上海光刻机生产企业详解:上海微电子装备集团的技术领先地位 详细介绍

上海微电子装备(集团)股份有限公司成立于2002年,生产高端光刻机用于集成电路制造。

公司设备支持90nm工艺,已交付多台步进扫描式光刻机,推动国产半导体发展。

🧭 核心要点

  • 上海微电子装备(集团)股份有限公司成立于2002年,生产高端光刻机用于集成电路制造
  • 公司设备支持90nm工艺,已交付多台步进扫描式光刻机,推动国产半导体发展

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