气浮技术在超精密加工与无接触运动中的核心优势

📋 气浮技术在超精密加工与无接触运动中的核心优势 详细介绍

气浮主轴通过恒压供气形成稳定气膜，径向与轴向跳动可控制在0.05μm以内，满足光学镜面加工需求。

相比传统滚动轴承，气浮系统无磨损、无需润滑油，避免了微粒污染，非常适用于洁净室环境。

现代气浮平台结合主动控制技术，可实现亚纳米级定位精度，已成为光刻机与坐标测量机关键支撑技术。