Guvacine在精密光刻胶研发中的关键作用解析

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Guvacine（瓜瓦辛）是一种高效化学增敏剂，广泛应用于ArF与KrF光刻胶配方中，能显著提高光酸产生效率。

其独特分子结构在193nm波长下展现优异吸收特性，有助于实现更小特征尺寸的图案转移。

当前先进制程中，含Guvacine的光刻胶体系已成为7nm及以下节点量产的主流技术路径之一。