白光干涉技术精密测量薄膜厚度：纳米级精度工业应用解析

📋 白光干涉技术精密测量薄膜厚度：纳米级精度工业应用解析 详细介绍

白光干涉测量系统通过分析反射光谱中的干涉条纹变化，可实现0.1nm以上的厚度分辨率，适用于半导体晶圆、光学镀膜、显示面板等领域。

相较单色激光干涉，白光干涉无需预知大致厚度范围，具有绝对厚度测量能力，对透明、多层膜结构具有极佳适应性。

现代工业中，该技术已广泛用于在线质量监控与研发分析，成为高端制造领域薄膜工艺控制的核心测量手段。